二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9271575 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一种用于半导体製造的光刻胶设备。它是一种先进的光刻工具，用于创建和传输大体积的高分辨率图样到晶片上。光致抗蚀剂是光刻中使用的一种光敏材料，用作制造图样的曝光介质。FSI Mercury系统包括用于印刷的扫描设备、光刻涂层和曝光单元、清洁和烘烤过程以及用于后期处理的机器。扫描设备使用高功率激光在晶圆表面上创建纳米尺度图样。光敏涂层机用于在创建图样之前在晶片上涂抹一层薄薄的光敏材料。在曝光过程中，激光束以特定的图样施加到晶片上，以创建所需的形状。然后使用清洁和烘烤工艺来硬化光刻材料的加工层并清除任何碎片。最后,利用后处理工具进一步发展模式.TEL Mercury资产的设计非常可靠，可以高速运行。它还能够产生具有精确模式和可重复性的高分辨率图像。这使得它非常适合大容量的过程，并且由于工具的准确性而减少浪费。该模型还可以很容易地修复和自动化，以提高效率。此外，该设备非常适合先进的光刻工艺，如双图样、多次曝光和无掩码光刻。TOKYO ELECTRON MERCURY系统是复杂光刻工艺的强大工具。它为高分辨率图像传输提供了可靠的工具，提高了效率，减少了浪费，同时还提供了光刻所需的准确性和可重复性。其先进的特性可用于提高产量和降低成本，使其成为半导体制造的绝佳选择。