二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9278150 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一种世界领先的光致抗蚀剂设备，用于制造集成电路（IC）。利用先进的电子束光刻技术，为广泛的电子应用创造了20纳米以下的光刻层特征。该系统采用集成的光耦合扫描仪和以KHz扫描频率工作的单束光源，提供高清、可重复、可靠的光刻性能。该单元以电子束为基础，并抵抗FSI开发的技术，使其高度可靠和先进。先进的机器设计是基于一个强大的体系结构，具有简化的刀具控制。光刻过程围绕功能源和图像资产进行。该源模型具有精确的电子束生成、强度和剂量控制以及机械和编程对准功能，以提供像素完美的光刻。此外，该设备可进行高精度的掩模边缘对准、光束定心和光束成形，无需人工干预。FSI Mercury系统配备了自动化和可编程的工艺参数，允许在多个晶片和批次上实现一致性和可重复结果。通过使用质量控制（QC）外围设备来监控过程稳定性,如焦点调整、光束电流、蚀刻深度等,增强了稳健的单元体系结构。此外，该机还利用各种标准工艺模块和高端光刻工具，实现了复杂芯片结构的更大可定制性。此外,对于关键特征尺寸,该工具能够满足严格的精度要求,其精度要好于1nm。它包含一个大气扫描仪，可以生成并对齐0.05度倾斜角，用于均匀分布的光轮廓和高质量的图像。该资产还可以利用集成的温度和湿度控制器来提高稳定性，并随着时间的推移减少迭加误差。TEL Mercury模型也符合行业标准，并得到从单层抗生产到多层金属化层等广泛工艺模块的支持。此外,设备可以与一系列自动化解决方桉集成,并集成在线过程监控和可追踪性设备,例如基于摄像头的缺陷检查系统、审查系统以及自动化产品装卸系统。TOKYO ELECTRON MERCURY系统是高精度、高分辨率的IC製造的理想选择，需要稳定、准确且可重複的特徵尺寸。由于其先进的功能，它被世界各地的多个设备制造商和研究机构所采用。