二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9298710 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是一种光刻胶设备，用于在半导体晶片上开发和成像光刻胶图样。它是一个全自动的工具/系统，使微电子工业中晶圆和基板的开发能够精确的阵列和抵抗。FSI猎户座光刻装置由一个成像站、一个自旋站、一个热板站和一个自动机器人组成，用于零件处理和移动。成像站由激光自动对准器、掩模对准器、紫外线灯、步进器和图像窗口组成。激光自动对准器用于将掩模精确对准晶片。遮罩对准器用于将遮罩成像到晶片上,而UV灯则用于提供成像曝光。步进器和图像窗口用于监视晶片的阵列。自旋站用于将光致抗蚀剂从晶片转移到基板，以及用于开发晶片上的图样。旋转是由一个机动化的机器，它可以旋转晶片从零到五万转。热板站用来在图桉化的晶片上烘烤一层感光材料。机器人用于在不同的工作站之间移动零件。它有五个运动轴，能够编程和记忆重复零件运动的运动路径。总体而言，TEL Orion光刻工具是一种可靠、准确的工具，能够处理高精度的图样并抵抗微电子行业所需的发展。它由成像站、自旋站、热板站和机器人等各种组件组成，所有这些组件一起工作，以确保晶圆上的精确成像和图样。