二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384177 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是为光刻设计的先进光刻设备，利用光在基板上创建图样。这个系统使用一个光源，例如氟化氙（ArF）准分子激光器或二极管激光器将图样传递到基板上。光强度的操纵使得转移成为可能。基板由一种被称为光致抗蚀剂的辐射敏感材料组成，它对某些波长的光敏感。由于光强度的控制，该单元能够创建具有精确图桉和精度的特征。机器包括主机、惰性或真空外壳、光刻涂层剂、气流单元和曝光光学器件。主机运行专用于监视工具组件的可编程逻辑控制（PLC）。它能够根据用户的输入运行模式和配方脚本，并允许用户实时调整参数。惰性或真空外壳允许操纵底物周围的环境，以便更精确地曝光光刻胶。光敏涂层剂负责将光敏胶沉积到基板上。它是通过一个喷嘴输送的，该喷嘴将光致抗蚀剂液滴输送到基板上。气流单元负责为资产的运行供应惰性气体，如氮气或氙气。模型的曝光光学部分包含光源和用于控制光强度的聚焦光学。该设备能够制造尺寸小至0.05微米的结构。该系统非常适合制造微型电子或半导体器件组件。它也被用于MEMS（微机电系统）的研发。通过控制光源强度，实现了图样形成的精度。用户还可以调整曝光后烘烤条件，进一步改善光刻胶的图桉。FSI Orion是一个先进的单元，能够为各种类型的光刻应用在基板上传送精确的图桉。