二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384180 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ORION是一款光阻（PR）设备，设计的目的是使半导体电路的阵列比以往更高的精度和保真度。该系统使用光刻技术使用所施加的光将图样从遮罩或标线转移到基板上。FSI Orion单元具有多种功能,非常适合用于现代半导体应用的高保真阵列。利用双波长光源，可以用TEL Orion机制作出尺寸比其他方式小的极精细图桉。该光源能够同时发射紫外线和极紫外线（EUV）,并且具有可调光斑大小,范围从0.7到10.2 μ m。此外，该工具还具有光学集成腔室，与传统的光刻系统相比，可大大提高光学性能。除了光学能力外，猎户座资产还具有令人印象深刻的其他技术特点。这包括一种专有的高速快门模型,可大幅缩短曝光时间。此外，它还具有保护涂层，可以保护设备的部件免受可能对大气中的化学物质和高电荷粒子造成的潜在损害。TOKYO ELECTRON Orion系统利用先进的计算能力来控制PR的精细方面。这包括控制暴露参数如剂量、照明波长、聚焦和自动聚焦精度、放大倍率、线性和角度误差等细节。用户界面的设计采用了直观的布局，提供了一个易于使用的图形界面来控制设备的参数。总体而言,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion机器是一种高度先进的PR工具,它具有使其适合用于现代半导体应用的特性和功能。其双波长能力、可调光斑尺寸、防护涂层以及先进的计算能力相结合，使其成为那些正在寻找高精度、高保真公关资产的人们的理想选择。