二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384186 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是用于半导体光刻的下一代光刻设备。它旨在适应极端紫外线（EUV）光刻、深紫外线（DUV）光刻和扩展光学光刻等技术的最新进展。FSI Orion系统具有模式写入、晶圆管理、曝光和发布过程方面的最新进展。该单元旨在提供业界领先的分辨率和吞吐量,同时满足精度和精确度的最高要求。TEL Orion机器包括多轴掩码写入和对齐工具,以及晶片装载机/卸载机资产和步进/扫描仪平台。掩模书写模型由多波长、高分辨率的成像设备、多层的基板和能够在亚纳米级对准的掩模对准系统组成。晶片装载机/卸载机提供了快速、准确装卸基板和板材的能力。步进/扫描仪平台能够在各种光刻技术中以高精度成像超细图桉。TOKYO ELECTRON Orion机器还具有集成的计量功能,可进行在线过程监控。该工具包括一个可以检测晶圆中亚纳米特征的双波长计量资产。双波长计量法还可以分析晶圆级残差，从而实现更严格的过程控制。该模型还包括一个集成的流程配方库和高级串联流程控制，以确保流程性能一致。Orion设备的设计目的是提供卓越的光刻性能,其成本可与其他高端光刻系统相媲美。该系统的设计具有可扩展性,可根据需要进行模块化扩展,从而在引入新技术或新流程时轻松实施升级。该单元具有很高的灵活性,可轻松配置以适应不同的光刻解决方桉。此外,该机器还具有广泛的远程支持功能,允许远程查看刀具性能和升级。这允许更高级别的客户服务和支持。总体而言,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是一种领先的光刻胶资产,旨在适应技术进步并提供业界领先的分辨率和吞吐量。该模型的灵活性、可扩展性和远程支持是关键特性,使其成为半导体光刻的竞争选择。