二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384197 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是一款用于生产半导体元件的光刻胶设备。光致抗蚀剂系统能够对用于制造纳米级部件的材料进行精确调节。FSI猎户座系统是一种具有暗场、反射和透射成像能力的光阻灰化、剥离和显影装置。它通过真空反应性离子蚀刻（VRIE）和非反射沉积（NRD）工艺的结合提供了更高的精度和控制。这台机器的设计目的是通过快速的ashing时间和全自动的序列运行来最大限度地提高流程效率。TEL猎户座可以加工多种光敏材料，包括聚酰亚胺、硅氧基氢、光敏聚合物、苯并环丁烯以及负极和正极光敏。它还能够运行多个并发过程操作，如基板清洗、蚀刻、蚀刻、剥离、抗固化和温度退火。该工具配备了1.3吉瓦射频源，在任何基板上均匀蚀刻速率。改进的温度精度，优化的等离子体条件，以及气体溷合的使用，给最终用户更好的工艺精度。此外,该资产还提供了在多种条件下的可靠性和设备完整性,并提供了可选的实时数据收集串联检查模型。Orion还可以完全自动使用FSI专有软件,使其成为大批量生产线的宝贵工具。此外,使用自动化物料处理和运行调度非常容易管理。因此,用户无需担心手动输入数据或不断调整硬件。总体而言，TOKYO ELECTRON Orion是一种先进的光刻设备，其设计目的是产生精确高效的结果，能够在广泛的工艺条件下实现良好的设备完整性。它非常适合大批量生产,并提供自动化、易于管理的过程。该系统具有快速的冲洗时间和更高的精度，是任何半导体制造过程中都非常宝贵的工具。