二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9391810 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是专为半导体製造业而设计的光刻胶设备。光致抗蚀剂是许多半导体制造工艺中使用的一种化学物质,用于在半导体材料上创造干净光滑的表面。FSI猎户座光刻系统是提供精密、精细控制和高性能的线形半导体处理单元的顶端,创造干净、锐利的光刻效果。TEL Orion使用了一系列的光源配置,包括高重复率和超短脉冲激光器,来创建高精度的光阻图样。这台机器具有先进的波长控制和高度可调的光学工艺,能够对尺寸不超过10纳米的特性进行制图。光致抗蚀剂层经过精密控制,可确保膜沉积高度均匀。该工具还可以处理多种光刻材料,使公司能够开发多种光刻工艺。资产的主要功能包括制图、清洁、温度控制、干燥、烘烤。图桉化在控制薄膜质量的同时产生细层的光刻胶。通过精确的温度控制,该模型能够快速安全地清洁干燥材料。设备还提供精确烘烤工艺,有助于改善蚀刻过程中的光刻效果。除了高性能、精确度和控制外,系统还包含了最先进的安全和环境特点。TOKYO ELECTRON Orion单元通过提供安全、清洁和高效的光刻加工,确保了工艺性能的一致和高分辨率的光刻效果。对于半导体制造商来说,Orion光刻机是一种理想的工具,他们需要一种可靠、经济高效的方法来快速在半导体晶片上创建干净、准确的特征。其先进的特点、精确的控制和可靠的工艺效果使其成为任何半导体制造项目的理想选择。
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