二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9395754 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion是专为开发和曝光用于光刻胶应用的聚合物薄膜而设计的光刻胶设备。该系统具有高分辨率的制图能力，可用于多种工艺，从单模盘到标线、大中区掩模、通用芯片和制图工艺。FSI Orion单元具有先进的低角度胶片轮廓特征,并具有用于控制胶片厚度的专利"全宽调整"选项。这允许对光刻胶显影进行高度控制，使操作员能够精确控制图样的方向和形状。TEL Orion机还能够多模式曝光，允许使用者在单、双甚至三倍曝光模式之间进行选择。当特定光刻胶特征的大小存在潜在的高变异性，或者一次曝光可能更难形成一个或多个特定的光刻胶特征时，这一特征是有利的。TOKYO ELECTRON ORION工具还包括一个二维Z轴扫描功能,使用户能够减少所采取的曝光步骤数,并最终减少实现所需模式所需的时间。此外,资产还提供各种过程控制功能,包括温度控制、速度控制、焦点控制等。猎户座模型还能够产生比其他系统质量和分辨率更高的光阻屏蔽，这是由于高速旋转器、高分辨率数码相机和高频扫描插值能力。这些特性的结合使得FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion可以产生高达1450 dpi分辨率的光刻胶掩模。设备产生的高分辨率图像可以提高掩模精度，从而更好地伴随光刻结果。最后，FSI Orion光刻系统实现了全自动，并附带了过程参数校准和统计过程控制软件。这使操作员能够轻松监控和调整流程设置，以达到最佳效果。因此，TEL Orion是半导体的一种必不可少的制造工具。