二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP #293650475 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP是一种在半导体制造过程中为生产而设计的光致抗蚀剂设备。它是一种独立的单轴设备,旨在提供卓越的性能、卓越的速度和卓越的精度。转盘先进的电机技术产生高精度的线性运动和精度，这在半导体工业中很重要。它具有双激光加速和减速连接、专利的低振荡进给控制系统以及易于安装的自定心底板。Mercury MP的FSI PFA Turntable可以处理各种原生质和生产层薄膜，为目标应用提供了广泛的照明和对比度。其内置的气刀单元在加工室内围绕基板产生可再现的气隙，为基板提供有效而均匀的冷却。此功能有助于生产过程中的关键表面冻结过程。它还利用了大功率的汞灯，在基板表面提供均匀一致的照明，从而实现更好的均匀性。转盘采用数字伺服电机设计，能够产生顺时针和逆时针方向的高精度线性运动和速度。这项功能使机器能够高速精确旋转零件。此外，转盘使用数字激光对准工具，以确保准确性和均匀性。高精度激光对准资产使模型能够达到先进半导体工艺所需的稳定性和准确性水平。TEL PFA Turntable for Mercury MP除了具有卓越的加工精度外，还配备了多项增强功能。它具有用于维护最佳加工包络的扫描杆设备、旨在最大程度减少热变形的液体冷却系统,以及支持清洁和无碎屑处理环境的低压保持单元。它还附带在线自我诊断软件,可帮助进行故障排除和维护。总体而言，PFA Mercury MP转盘是一种用于半导体生产过程的可靠高效的光刻机。它提供高精度的线性运动和速度，并具有先进的电机技术和激光对准系统的精确和均匀的处理。凭借其内置的功能，该工具为原型和生产层膜的处理提供了有效、低维护的环境。