二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP #293808180 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP是一种光刻胶设备，使用户能够自旋薄膜基板，用于光刻胶的应用和图样的蚀刻到表面。该创新系统旨在实现可靠、准确和高效的处理,并具有高生产吞吐量。该单元的基本设计包括一个用于手动旋转的角度径向臂、一个用于自旋速度控制的行星电动机，以及一个用于平滑和牢固地固定基片的卡盘。它的220°垂直动态和可调节的运动范围可以方便地从自旋盒式磁带装载和卸载基板。这一特性对于均匀的薄膜自旋涂层工艺也很有用，在这种工艺中，可以调整手臂以稳定基板，并在旋转过程中保持恒定旋转。PFA转盘采用经过精心设计的重型部件构建,如阳极氧化铝部件、超光滑的直线轴承和耐用的联轴器。其可靠的装配保证了最低的振动，最大的刀具寿命和精度。该机还具有可选的耐酸涂层，使其能够承受光刻剂和蚀刻材料的化学沉积。主轴旋转通过精确到0.1 Hz的变频驱动器控制，并提供100到20,000 RPM之间的低速范围控制能力。该驱动器还配备了自动加速减速控制的数字设定点控制，以及电机和基板的超速保护。Mercury MP的FSI PFA转盘设计用于提供可靠、高效、精确的光刻胶处理,以实现高水平的生产吞吐量。其先进的设计和构造，加上其电动径向臂和可调节的运动范围，可以实现从载荷到卸载基片的最佳自旋涂层工艺。重型组件和可靠的装配确保它能够轻松处理最困难的光刻应用。