二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #293640260 待售

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ID: 293640260
晶圆大小: 6"
6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury是一种设计用于各种材料加工应用的光敏设备。这种光致抗蚀剂系统允许在各种材料中快速和可重复地沉积具有高质量和可重复性的薄膜。FSI PFA Mercury Turntable使用独特的"提升和推动"机制将薄膜沉积到基板上,从而无需对样品进行复杂的手动操作。这种机理使光致抗蚀剂能够均匀、高精度地施加,同时控制光致抗蚀剂的厚度。该装置采用三通道输出级,可调节薄膜厚度和沉积能级。除了薄膜沉积外,该机还可以使用相同的光刻胶设置对多个样品进行快速批处理。这增加了工具的价值并提高了效率。TEL PFA Mercury Turntable还实时跟踪其处理条件并存储数据以供进一步分析。PFA Mercury Turntable配备了一个汞灯,它提供了广泛的辐照波长,并为汞束的锐焦提供了先进的光学资产。使用的汞灯的选择取决于所加工的材料,从而能够沉积质量和可重复性得到改善的量身定制的薄膜。TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury还配备了真空模型,从底物中抽出任何残留的光致抗蚀剂和其他挥发性物质的痕迹,导致所需材料的清洁、均匀沉积,没有针孔形成。最后,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Mercury转盘是一种可靠的光致抗蚀剂设备,它使薄膜的沉积任务变得简单。该光刻胶系统具有直观的"升压"机制、实时数据跟踪以及用于辐照选项的汞灯,具有无与伦比的精度、一致性和可重复性,是任何材料加工应用的绝佳选择。
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