二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9252200 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury是一种设计用于光刻应用的高精度光刻设备。转盘采用旋转机械平台和先进的光刻胶输送系统，在一系列基板尺寸和形状上提供均匀的光刻胶涂层。该装置的设计满足了生产光刻中最苛刻的要求，在保持曝光和涂层稳定性的同时提供卓越的透射。转盘机具有精密的闭环控制体系结构，允许在基板旋转过程中精确控制临界方向和速度参数，最大限度地实现工艺覆盖的均匀性。该精密平台设计为提供低噪声和漂移，在整个过程中具有高精度。转盘采用直接驱动电机工具和超精确角度编码器，以尽量减少由于振动或空气干扰而产生的任何沉降误差。这确保了工艺结果的可重复性，使资产能够在光刻应用的严格公差范围内保持旋转精度和均匀性水平。汞源安装在转盘的前部，提供可靠、稳定和能效的光致抗蚀剂向基板的输送。源也可以使用高级控制算法进行优化，以确保在整个过程中一致的图像均匀性。它配备了多个安全系统，降低了意外过程污染的风险。此外，转盘具有快速转换能力，允许同时装载和卸载基板，以提高生产率。平台兼容各种格式的基板，包括石英、玻璃、硅片和有机基板。通过选择载荷容量,包括150 mm、200 mm或300 mm,可以快速处理这些晶片,从而在光刻过程中提供必要的精度和可重复性。FSI PFA Turntable for Mercury为光刻应用提供了可靠的解决方桉,它将高精度驱动模型和先进的光刻胶输送设备与最新的安全功能结合在一起,采用了紧凑且用户友好的设计。