二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9301950 待售

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ID: 9301950
晶圆大小: 6"
6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury是一款光刻设备,利用最新的创新技术为用户提供高分辨率的成像和出色的重复性。该系统允许处理复杂和细腻的光刻胶,包括具有特殊特征的光刻胶,如图样化和高长宽比。其组件包括两个带编码器的旋转级、电动XY级、两个二极管激光器、一个具有4倍TTL变焦范围的显微镜相机和最大分辨率5nm的行星图像分析。转盘的两个旋转级提供了最大的精度和速度,因为每个转台可以独立工作。第一阶段为主舞台,由电机驱动,而第二阶段则由单位的编码器控制。这台整机经过精密调整,保证了最高精度和精密控制。此外,双二极管激光器可以快速、精确地绘制光刻胶的图样。这允许最大限度地提高光刻胶的处理效率,从而实现更高分辨率的成像。此外,4倍TTL变焦范围的显微镜相机为用户提供了微小细节的出色成像。这允许研究材料和过程的数量,包括薄膜沉积和蚀刻。此外,最大分辨率为5nm的图像分析采用行星方法,提高了用户对关键过程和参数的分析、监控和控制能力。该工具对于提高光刻胶产品的产量,提高成像可靠性非常有用。总体而言,FSI PFA Mercury转盘是一项先进的资产,它采用领先的技术来确保卓越的成像和最大的可重复性。它的两个旋转级和高分辨率成像允许最大效率的生产光刻胶。此外,双二极管激光器有助于精确的图样绘制,图像分析使用户能够更好地分析和控制光刻过程。
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