二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9354525 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury是一种光致抗蚀剂设备，设计用于晶圆和基板的高精度处理。这种光刻系统采用双套筒"转盘"设计，能够准确地运输和加工工件。该装置包括一系列集成传感器，可持续监测和调整环境和基板位置的变化，以确保精确定位和处理。转盘本身采用模块化设计，便于升级或更换部件。FSI PFA Mercury转盘为许多光刻胶工艺提供了一种高度可靠和有效的解决方桉。它能够处理200毫米（7.87英寸）以下的基板。汞光致抗蚀剂可以喷涂到基板上，然后由电动机在转盘上旋转，以获得更高的精度。台面有一个集成的流量控制机，在喷涂时保持均匀的溶液。转盘还有一个精密滚筒，确保基板的移动准确，并且在加工过程中不会移动。转盘也是自闭式的，具有广泛的安全特性。其中包括一个过载监控工具，在发生阻塞或堵塞时自动停止资产。此外,转盘还具有两个紧急停止开关和两个中央激活的安全开关。它还具有一个压力传感器，用于监测施加在基板上的压力，以防止任何潜在的损害。TEL PFA Mercury Turntable是一个非常高效可靠的模型，旨在为用户提供高精度的处理结果。这是非常安全的使用，并提供了基板定位和加工的完全控制。这种设备非常适合那些寻求高效光敏处理系统的人。