二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntables for Mercury #293653294 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury是一款用于半导体制造的最先进的光刻设备。它为光刻工艺的进步提供了高性能的解决方桉。该系统使用了超精确转盘的平台加上先进的Mercury High-End Photoresist Processing技术。FSI PFA转盘提供可靠的高档生产,同时允许生产小至25 nm的小型结构。此单元提供卓越的精度,能够分辨率复杂的图样具有出色的覆盖精度.它的模块化设计允许各种可定制的配置。转盘有一个内置的加工站，能够完成光刻过程。它包括一个集成的热板、喷泉和一个内部扩散泵。集成热板具有较高的温度性能和良好的均匀性.它还有一个快速移动的热板，允许快速的转弯时间和高效的循环。喷泉设计方便均匀的液体分配和准确的剂量，从而达到精确的结果。扩散泵有助清除过程中各种不需要的颗粒。FSI PFA Mercury转盘还具有温度反馈功能,这意味着对温度进行连续监控。这有助于最大限度地减少热漂移和过程漂移,提高性能和一致性。此外，它还有一个集成的激光视频测量机（LVMS），它启动自动数据收集，以更好的过程控制和配方打印。该工具包含一个128位多向编码器，它提供了对模式位置和方向的精确控制。其他特点包括封闭式设计和与洁净室兼容的不锈钢结构，确保安全清洁的操作环境。PFA转盘还与其他流程工具兼容,并提供了广泛的自定义解决方桉。所有这些组件的组合有助于提供可重复和可靠的过程,并对模式对齐和参数进行极其精确的控制。总体而言，TEL PFA Mercury转盘是一种可靠高效的光刻材料，非常适合半导体制造，提供卓越的精度和可重复性。它的模块化设计允许各种可定制的配置,其高温集成确保了高性能解决方桉。
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