二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 1000 #9264626 待售

FSI极化1000（FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000）是一款用于半导体制造工艺的光敏设备。光致抗蚀剂是一种光敏材料，用于半导体晶片的表面，以便在设备的各层中创建图样。这对于集成电路的制造很重要，因为它允许晶体管、电容器和其他组件的精确放置。FSI Polaris 1000系统使用深紫外线（DUV）在多种基板上快速曝光光刻胶。这种光是由一盏400mm钛掺杂蓝宝石（Ti： S）灯提供的，它以250 nm的波长传递光。此外,该单元还可以容纳各种不同的照明模式,包括矩形平行扫描、环形扫描和均匀扫描。TEL Polaris 1000还具有全自动电荷耦合器件（CCD）计量机，用于测量光刻相关参数。该工具能够测量晶圆表面上图像的线性和热/冷位移。此外，资产还配备了快门和自动对焦模块，以确保光刻胶被精确曝光。北极星1000设计用于洁净室环境。其额定等级为1,000级，这意味着它的设计目的是保持一个洁净室环境，每立方英尺空气的大小不超过1000粒0.5 μ m或更大。此外,该模型还可以存储多达50种配方,从而可以轻松快速地对重复操作进行编程。TOKYO ELECTRON Polaris 1000是半导体制造商的一款易于使用、可靠、高效的光刻设备。它能够在各种不同的基板上产生高精度图像，其CCD计量系统允许精确测量关键过程参数。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000具有集成的安全特性,是任何半导体制造设施的绝佳选择。