二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #293616823 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 3500是一种光刻设备，用于生产精密的微电子和光电元件。该系统利用先进的步进电机运动单元和专有软件来精确地暴露和去除基板上包含的光敏材料的特定区域。该机具有优化的聚焦磁铁和低噪声快门设计，允许亚微米精度在曝光过程中。该工具采用光束优化的照明器，能够以很高的分辨率产生光图桉和其他图像形状。这种照明器提供了广泛的光波长，并有能力创造高可重复和精确的光模式，以更好的产量。此外,照明器还具有光圈照度监视器,可进行精确的照度监控.该资产具有用于投影光学的数字镜头模型。这样就可以准确定位投影镜头,并提供易于对准、重复模式质量提高、分辨率提高以及在整个视场上均匀、可重复的性能等优点。设备的心脏是8英寸卡盘级，可以在加工过程中精确定位基板。其多点卡盘系统能够将基板牢固地固定在原位，同时提供平滑的运动和高重复性。该级配备了检测基板尺寸、类型、位置以及温度测量的传感器。该装置还拥有一个多通道、电子选择性场熔融膜模块，可以准确地曝光和去除基板上的光敏材料。此模块支持多个MESFET通道。薄膜模块与光刻过程模块一起，在光刻过程中提供了高度可重复和精确的控制。FSI Polaris 3500是一款创新的光刻机床，设计用于生产精密度高的微电子和光电元件。其优化的照明器、数字透镜工具、卡盘阶段、多MESFET薄膜模块提供了无与伦比的模具能力和生产精度。