二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #9092708 待售
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已售出
ID: 9092708
晶圆大小: 12"
Coater / Developer system, 12"
(2) Coat/Develop spin modules
Coat/blank spin module
Prime/Bake/Chill modules; (0) prime stations; (4) bake stations; (3) chill stations
Prime/Bake/Chill modules; (1) prime stations; (4) bake stations; (2) chill stations
I/O with (2) 12" FOUP platform
Scanner Interface
6-Axis wafer handling systems
Polaris water chiller II
(2) Carbon filter stack modules
Robot controller cabiner
User Interface Panel
Corner Dispense module
Electronic control module
T/H Environmental control system: cluster Plemm and ram 2000
Facilities platform
Electrical power distribution system
Stepper breezerway kit.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS 3500是一款最先进的光电抗蚀剂设备，能够产生质量优良的光电抗蚀层。该系统采用了专有的盲曝光技术，实现了准确和可重复的图像传输，并且在广域内的排泄率最小。它能够在高吞吐量下处理直径达300 mm的大型晶片。光敏装置结合了由先进运动控制器控制的高度精确的晶圆处理机，甚至能够处理最脆弱的基板。此外，该工具具有高分辨率的线性级，用于精确定位基板相对于曝光源的位置，以及确保曝光时安全操作的紫外线阻挡壳体。FSI Polaris 3500旨在生产质量最高的光敏层。它配备了自动化配方处理资产（ARPS）来控制能量、剂量和时间等暴露参数，模型能够以可预测的方式产生高度均匀的抗蚀层。TEL Polaris 3500还能够实现一流的吞吐量和过程稳定性。它拥有设计用于减少晶圆缺陷的先进背面清洁设备,以及能够更快地处理抗蚀层的快速运行系统。该单元还配备了无边表面预处理机，可防止在基材边缘堆积，增强图样质量。TOKYO ELECTRON Polaris 3500是一种高度可靠和高效的光刻工具。它的模块化设计便于维护,资产利用高级控制算法实现高效的能量和剂量暴露,从而确保最高级别的过程可靠性。总体而言，这种光刻胶模型提供了优异的工艺效果，是广泛半导体应用的绝佳选择。
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