二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #9360848 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 3500是为光刻和高分辨率图样应用而设计的先进光刻设备。它配备了先进的紫外线光源、数字成像、多光束对准技术，所有这些都结合起来，使亚微米的图样化成为可能。FSI Polaris 3500上的UV光源提供了平坦的照明场，使其适合在小至0.35微米的分辨率下进行图样化。它的功率输出范围很广,从1.5 mW/cm2一直到100 mW/cm2不等,可实现更高的阵列精度和分辨率。TEL Polaris 3500上的数字成像系统具有高灵敏度的高分辨率成像传感器。多束对准技术利用多束激光束精确对准曝光场，减少错配误差。该装置还配备了精确的快门控制装置，用于精确定时曝光过程和防止不必要的曝光。北极星3500能够处理多种光敏材料，包括正负光敏，甚至异国情调的材料。它设计为低维护和用户友好，因此操作员可以方便地设置和操作机器。该工具的集成计算机具有用户友好的图形界面,使操作变得简单直观。TOKYO ELECTRON Polaris 3500是制造高精度、高精度电子器件的绝佳工具。其先进的光致抗蚀剂资产，加上其功率输出的范围，使其成为实现复杂模式任务的理想选择。其低维护和用户友好的性质使其易于操作，而其精确对准系统则确保每次都能获得准确的结果。