二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris PR #9375500 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris PR是由FSI International和TEL开发的光阻设备。该系统旨在使用户在图样和蚀刻过程中获得更高的分辨率。它结合了高分辨率的蒙版对齐器和全面的干湿处理解决方桉。该单元中的掩模对齐器能够精确绘制具有亚微米分辨率的微观特征。这是通过先进的投影光刻头实现的，具有增强的散焦和次孔径缝合。投影仪还具有可变柱头和多个自动对焦系统，以确保准确性。湿法和干法处理解决方桉基于一个整合了等离子体加工室、自旋加工工具、蚀刻工具、基板装载机和用户界面的集成平台。等离子体加工室具有较高的蚀刻速率和抗蚀层稳定性；它们还能够精确控制蚀刻过程，以减少过度蚀刻效果。自旋加工工具有助于对光刻胶和其他材料进行精确的制图。蚀刻工具能够精确去除非平面基板或特征。此外，基板加载器提供了一种在不同加工工具之间移动基板的自动化方法。该机还通过其集成的过程控制工具提供精确的过程控制。该资产具有数据记录、与其他分析系统的通信以及可用于调整流程参数以优化流程性能的远程监控工具。此外，该模型还配备了曝光监测和晶圆分割等附加功能，以进一步改善工艺控制。最后，设备的用户界面提供直观的操作和数据可视化。它具有符合人体工程学的设计,易于使用。它还包括用于质量控制过程的高级报告生成系统。总体而言,FSI Polaris PR是一个先进的光刻装置,旨在使用户能够在阵列和蚀刻过程中获得卓越的分辨率。它结合了高分辨率的面罩对齐器和全面的干湿处理解决方桉，并提供精密的过程控制与它的集成过程控制机器。用户界面设计为直观、符合人体工程学，便于操作。