二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris #9092981 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris是一款先进的集成电路制造光刻设备。光致抗蚀剂是一种用于在晶圆厂工艺中向基材转移图样和结构的技术。这种特殊的工具在速度、分辨率和容量方面都是优越的工具。系统内部采用先进的高速半导体处理器。这是执行操作、数据传输和图像处理等基本功能的单元的核心。另外还有一个高度敏感的光学机器，由扫描激光和镜头组成，与偏转镜一起作用，以确保精确成像。该工具集成了双光束扫描仪,并与三菱的专利解决方桉聚焦成像技术相结合,FSI Polaris可以提供比其前代产品更快的2.5X成像性能。资产包括温度控制和许多其他功能。该模型还采用优化的曝光时间构建，以确保光刻胶不会产生任何暗色缺陷或残留物。除了它的速度和成像精度，这设备包括一个独特的蒙版舞台特点。此功能使用户可以在成像过程中调整光掩模的高度和倾斜度,从而可以精确调整亚微米特征的临界尺寸（CD）。TEL Polaris还支持广泛的E-Beam和Laser技术，提供比竞争技术更灵活的光刻选项。此外，该系统拥有一些独特的先进相机技术，允许用户实时查看整个晶圆覆盖范围。这使得识别和纠正缺陷位置成为可能，从而使晶圆过程的控制更加高效。在安全方面，该机组采用先进的多层安全防护功能，确保安全法规得到遵守，并保护机器的重要部件免受电磁干扰造成的损坏。总而言之,Polaris是一种独一无二的光刻工具,提供卓越的效果和广泛的选择。它已被证明是集成电路制造的绝佳选择。