二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9364334 待售

ID: 9364334
晶圆大小: 4"
4" 8-Position turntable.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Mercury MP转盘是一种光刻设备,旨在为电子产品的制造提供精确的阵列。该系统以涡轮分子泵为基础,提供转盘稳定、高效的旋转,用于均匀沉积光致抗蚀剂。为了确保光刻胶的精确图桉,FSI PVDF Mercury MP转盘包含了许多高级功能。首先,设计和构造了装置的部件,包括安装板和抗蚀性涂层头,使振动最小化,动态稳定性最大化。这样可以确保光刻胶流到晶片表面上的流畅、一致,且阵列误差最小且覆盖范围不大。TEL PVDF Turntable for Mercury MP还集成了精密旋转密封机,实现了光刻胶的可重复和精确图样化。这种密封工具在晶片周围建立一个真空阀,最大限度地减少污染和遮蔽光刻胶。利用旋转部件,该资产还允许调整间隙间距以适应各种基板,从而无需手动调整膜厚度。此外,TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP拥有先进的软件包,旨在提供简单的用户界面和全面的数据记录。该软件支持一系列照片成像过程的操作,包括曝光、硬化、对准和蚀刻。这种先进的软件还允许定制的过程操作,并且响应速度高,处理速度高达12008w/minute的光刻胶。PVDF Turntable for Mercury MP是一种高度先进的光刻胶模型,专为满足电子制造商的工业需求而设计。该设备具有高速、精确的图桉和稳定的操作组合,非常适合所有需要光致抗蚀剂的应用,从基本涂层工艺到复杂的电路制造。
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