二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9384393 待售

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ID: 9384393
晶圆大小: 5"
5" 6-Station.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP是一种专门设计用于光敏处理的设备。光致抗蚀剂是一种液体材料,当暴露在光线下并发育时,可以形成多种图样。广泛用于半导体器件、显示器、微电子元件的制造。FSI PVDF Mercury MP转盘是一种强大的设备,旨在提供可靠和一致的结果。它是由聚乙烯氟化物塑料制成的,该塑料原子结合,在加工过程中具有优异的耐热性和不润湿性。转盘配备了一系列的功能,包括一个静态平衡的可移动主轴,它允许精确的光刻应用和处理,以及集成的负载和卸载针脚,支持一系列晶圆尺寸达8英寸。此外,它还配备了运动学安全夹具,确保晶片在转盘中的正确定位。光致抗蚀剂应用系统具有良好的一致均匀性,其设计保证了材料的精确溷合,通过脉冲断裂技术实现了一致的、可重复的过程。TEL PVDF Mercury MP转盘还包括一个精密的多点温度控制单元,可进行精细的热管理。TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP还配备了独特的Load and Unload pin machine,可以很容易的改变以匹配晶圆的大小或类型。集成恒温器确保晶片温度保持在最佳水平,以便进行精确的光刻应用和处理。PVDF Mercury MP转盘是光刻胶应用和处理的绝佳选择。它提供了前所未有的准确性和一致性,即使在极端环境中也是如此。因此,它已成为光刻胶生产过程中必不可少的组成部分。
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