二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9384397 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Mercury MP转盘是一种光刻设备，能够在可控半径内安装和处理半导体晶片。它使用脉宽调制技术来实现对晶圆半径的精确控制。这个过程包括安装一个转轴到电机和控制它调整晶圆的半径。Mercury MP的FSI PVDF转盘支持TEL转盘的全系列FSI控制单元,用于热和Mercury MP光阻工艺。Mercury MP的EH-030TTEL PVDF转盘具有多项功能,旨在促进系统的精确和安全的精确运行。它包括一个偏心安装的晶片安装/卸载平台,可确保晶片居中。它还具有ERPM电动机和主轴,允许在精确控制的圆中高速旋转晶圆,以实现均匀性和准确性。马达是无刷的，完全由保护壳封闭，以防止任何灰尘和残留物收集。Mercury MP的EH-030TPVDF转盘还具有过电压保护（OVP）、防止过热的高功率级以及用于精确控制的集成温度。它被校准为准确性，包括一个基于软件校准的监视器/打印机端口。晶片居中特性确保晶片的精确居中，PVDF涂层防止晶片表面磨损。EH-030TTOKYO ELECTRON PVDF Mercury MP转盘的工艺操作快速高效。由于主轴和所有活动部件都被封闭在保护壳中，因此它本身是安全的。脉宽调制可确保抗蚀剂均匀地暴露于单元发出的汞光。这样可以确保在晶片上应用一致且质量良好的抗蚀层。最后，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Mercury MP转盘是一种光刻机，为半径可控的半导体晶片的安装和加工提供了高效、安全的工艺。它包括一个用于精确的安装/卸载平台、一个用于防尘的封闭式电机、用于精确的温度控制以及用于使抗蚀剂在汞光照下保持一致性的脉宽调制技术。对于那些在半导体晶片上寻找高质量抗蚀层的人来说，这是一个可靠的工具。