二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury #293702607 待售

ID: 293702607
晶圆大小: 4"
4" P/N: 913501-001 Rev A 8-Positions.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury是一种专门的光敏设备。它旨在为用户提供最先进的光阻技术,使他们能够增加产量,提高半导体产品的质量。转盘系统由两个主要组成部分组成:加工室和转盘本身。加工室是装有转盘的密封容器,并连接到真空装置,以便进行高效的低温处理。转盘由PVDF(聚氟乙烯)制成,这是一种独特的材料,既耐温又能承受化学攻击。这样可以确保转盘能够承受加工室内恶劣的环境。FSI PVDF Mercury转盘设计用于各种光刻技术。它可以有效地处理一系列不同的晶圆尺寸和厚度。转盘设计用于保持恒定温度,这对于在多个晶片上获得均匀的光刻结果很重要。转盘通过配有多种不同设置的控制面板操作,包括转盘速度、真空水平、温度和计时器值。这使用户能够根据自己的特定要求轻松定制其光刻胶工艺。由于转盘是用PVDF制成的,因此与其他材料相比,它具有更好的耐用性。这确保了它能够处理与光致抗蚀剂工艺相关的极端温度和化学物质。此外,它还耐腐蚀和化学攻击,为用户提供增强的性能和可靠性。TEL PVDF Mercury Turntable是希望通过光刻胶工艺最大限度地提高输出和质量的用户的理想选择。转盘结构坚固,易于使用,性能可靠,是寻求先进半导体光刻机的理想选择。
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