二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury #9354313 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury是为OEM集成商和一级用户设计的自动化、自成一体的光刻设备。它是一种经济高效的解决方桉,可提供自动旋转涂层和烘烤功能,输出速率高达每小时75个晶圆。该系统包括一个11.8英寸的旋转轨道转盘，该转盘具有12度的倾斜度，可使光刻胶在晶圆上均匀分散。PVDF转盘旋转驱动速度高达3000 rpm,顶板加速度为500 rpm/sec2。可调表的流体入口温度范围在25°c至65°c之间，背面加热温度可达100°c。这种PVDF转盘是为多种光刻胶设计的，包括正负抗蚀剂、高温光刻胶、后涂层处理，以及其他相关的工艺材料。大容量设计允许最大吞吐量和最短的设置时间。集成的PLC和触摸屏操作员界面可轻松、精确地控制液体输送装置。该机器经过UL认证,能够安全运行,并符合最高耐用性标准。转盘有一个串联诊断工具，用于监测关键功能，包括真空、板温度、抵抗均匀性和基板压力。一个独特的软件包自动化了从剂量控制到晶片加载的整个抗蚀涂层周期。还包括高级数据日志记录和配方管理功能,通过单击即可实现精确的流程合规性。为防止化学物质积聚，PVDF转盘配备了一个单一用途、自清洁喷嘴和排水资产，促进了清洁抗蚀剂的使用。该模型还设计了一个有效的喷雾器设计和集成灭火器，以尽量减少附带废物。FSI PVDF Mercury转盘是满足各种光刻胶加工需求的理想解决方桉。凭借其强大的设计、集成的安全特性以及自动化、高效的操作，是光刻胶用户的绝佳选择。