二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Reflex #293662028 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON REFLEX光刻设备是一种先进的光刻系统，旨在能够处理半导体晶片上的高分辨率图样。该单元利用复杂的光学和先进的镜头设计来实现半导体晶片的高分辨率成像。FSI Reflex机利用多波长照明器为晶片表面提供均匀精确的照明。该工具能够同时照亮具有多个波长的晶片表面，从而能够同时照相曝光多层。照明器配有滤光片，可以对各种光刻胶层进行选择性照明。TEL Reflex资产配备激光扫描仪，能够对晶圆表面进行高分辨率成像。激光扫描仪能够以极高的速度扫描晶圆表面。该型号能够以每秒8000次扫描的速度扫描3.7mm x 3.7mm平方英里面积，以每秒1次扫描的速度扫描8mm x 8mm平方英里面积。TOKYO ELECTRON Reflex设备还配备了一个集成的系统控制器，可以精确操作设备参数。控制器能够控制激光扫描仪、照明器和照明滤光片的机器参数。控制器还能够监测光刻胶层厚度和晶圆反射率。反射工具与一系列先进的光刻材料兼容，包括i-line、深紫外线和X射线。该资产能够处理一系列光阻图样,包括线条和空间图样、接触孔以及其他几种图样几何。该模型还能够处理多层光刻胶图样，如层间介电层。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON REFLEX设备使用和维护简单。该系统是独立的,需要最少的维护。该装置能够自动控制温度和湿度水平，以确保最佳性能。用户可以使用集成的刀具控制器轻松修改机器参数和设置。FSI Reflex资产是一种先进的光刻模型，旨在能够处理半导体晶片上的高分辨率图样。该设备采用多波长照明器、激光扫描仪和集成系统控制器实现晶圆表面的高分辨率成像。该装置能够自动控制温度和湿度水平，以确保最佳性能。用户可以使用集成的刀具控制器轻松修改机器参数和设置。该资产与一系列先进的光刻胶材料兼容，提供了处理多层光刻胶图桉的简单高效的手段。