二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233648 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MP是一种用途广泛的光刻设备，用于半导体制造和先进的光刻工艺。它设计用于广泛的任务，如半导体加工、微电子器件制造、纳米技术、先进的光刻技术和其他表面安装区域。该系统为晶圆的制造提供了一个全面的解决方桉，包括图样、对准、蚀刻、计量和沉积。其最先进的特点使其能够满足当今半导体行业的严格要求。FSI土星MP单元由三个核心组件组成：主控制器、一组工艺模块和一个机械臂，用于从机器装卸晶片。控制器负责控制所有的过程和与外部机械的接口，包括掩模对准器、步进电机、抗蚀辊、旋转涂层、大气监视器和一系列其他附件。工艺模块提供所有必要的电源、加热和冷却功能，以支持光刻工艺。机械臂负责装卸晶片，可根据晶片尺寸范围进行调整。TEL Saturn MP提供了多种高级功能,以最大限度地提高效率并最小化停机时间。它包括一个用于快速模式调整的多模板用户界面，以及文档管理和统计报告。它还提供单击晶片处理,以快速访问晶片启动参数,以及用于远程编辑和管理光刻配方的综合配方管理工具。该资产还提供可选的离线跟踪功能,用于监控和记录各种晶圆步骤以确保质量。TOKYO ELECTRON Saturn MP兼容多种抗蚀剂化学，包括聚合物、连续色调和光致抗蚀剂。它拥有业界领先的全系列消耗品和备件产品线,并拥有专职的技术人员来提供客户解决方桉和支持。这样可以确保模型能够跟上要求最苛刻的应用程序要求,同时确保安全性和顶级性能。