二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233649 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MP是一种全自动的高分辨率光敏设备，旨在方便制造超微敏感设备如MEMS（微电子机械系统）和生物医学设备。该系统具有先进的低剂量均匀性曝光控制功能,适用于处理尺寸不超过4英寸、特征尺寸为100 μ m的基板。FSI Saturn MP配备了一个数字多边形扫描仪，该扫描仪能够在一个通道内达到5 μ m的分辨率。该扫描仪能够以单目标和多目标模式进行扫描，为用户提供微调处理的灵活性。此外，该机还具有一个特殊的校准表，以保证在使用工具兼容的各种迭加软件时的精确对齐。TEL Saturn MP还为用户提供了一个直观的界面，允许方便的设置和操作，使其成为甚至新手用户的理想选择。它支持各种基板，包括硅（硅）、聚合物、玻璃和石英材料，以及传统的湿工艺。所有这些特性使该资产具有高度的多功能性,即使是最具挑战性的材料也能有效地进行阵列设计。该模型还能够跟踪和记录过程数据，这对于学习和故障排除非常有价值。这一特性在处理复杂基板时特别有益，因为设备可以为用户提供他们的模式和优化结果的详细分析。为方便起见，TOKYO ELECTRON Saturn MP提供模块化设计的化学站，在需要时可以快速方便地更换。这在处理需要专门加工的基材材料时可能特别有用。总体而言，土星MP是一种最先进的光刻胶系统，旨在使超微敏感设备的制造更加容易和高效。凭借其先进的曝光控制、直观的界面和模块化设计的化学站，这一单元为用户提供了一种功能强大且可靠的光刻胶解决方桉。