二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293746517 待售
网址复制成功！
单击可缩放
FSI Saturn是一种为微加工应用而设计的光阻设备。它是一个直列光刻系统，这意味着它能够直接写入，无掩码曝光简化生产过程。该单元由一个定向光束的光源，连同一个二维x，y电动机级，一个较少衍射限制的光学笼，和一个晶圆传输机组成。该工具还包括一个具有直观图形用户界面的控制器和一个用于点击操作的基于PC的软件窗口。土星包括多种微光刻技术，如接近曝光、接触曝光、步进重复非接触曝光、自动聚焦非接触曝光、盖子照明、扫描仪曝光以及单模或多模曝光。它还具有图像定位资产，能够对标线和晶片进行高精度对准。针对中小面板单层亚微米到多层亚微米分辨率的生产运行优化了完整的模型。它可以很容易地处理广泛的曝光应用，从传统的光刻胶和厚抗蚀剂到干膜、薄膜和散装光刻胶。该设备还能够处理广泛的材料，如厚正光刻胶、负光刻胶、金属基抗蚀剂和有机材料。采用内置磁化率仪和自动晶圆厚度测量技术，设计用于串联质量控制。FSI土星系统配备了可升级的双LED照明器，具有可调电流和瓦数，可进行全方位曝光。该单元提供可选的在线帮助、培训、技术支持和兼容的消耗品。它的模块化设计确保了针对特定光刻工艺的轻松定制。土星提供快速、简单和精确的操作，其增强的成像和曝光能力，在一个小包装和一个完全成熟的光刻机的成本的一小部分。适合生产中小型复杂图桉，该工具是寻求高分辨率图桉和几何形状的人的理想选择，无需繁琐昂贵的系统。
还没有评论