二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293748011 待售

FSI Saturn是一种用于微光刻的光刻设备，用于产生光掩模，然后用于将图样转移到半导体和其他电子元件上。土星系统利用一种专有的准分子激光器，该激光器发射深层紫外线，从光刻剂产生光掩模。光掩模是使用双曝光过程产生的，其中准分子激光器被用于两次曝光光刻胶，中间步骤是在曝光之间烘烤光刻胶。FSI土星单元产生的光掩模精确度令人难以置信，分辨率为0.25微米，均匀度为12.5纳米。这台机器能够曝光低至0.2微米的浅层特征,以及形状和尺寸均匀的光掩模上的特征,使其适用于最先进的半导体制造工艺。Saturn工具与标准和先进的光刻胶兼容，并且设计可以容纳广泛的掩模设计和材料，使制造商能够为各种应用创建高度精确和复杂的光掩模。资产还包括一套软件工具,如流程配方、曝光持续时间和模型控件,使用户能够以最小的工作量轻松创建所需的模式。此外，FSI Saturn设备能够在投入生产之前对材料和工艺进行预审，这样用户就可以放心，他们的设计将符合预期的质量规格。这有助于减少开发阶段浪费的时间,并确保光掩模在准备使用时具有最佳质量。土星系统是制造先进微电子元件的宝贵工具，在用户友好的平台上提供高度的精度和性能。