二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293811533 待售

FSI土星是为先进IC技术的先进光刻加工而设计的高性能光刻设备。该系统由一个与高速热/真空处理站耦合的高分辨率数字成像单元组成。它能够实现高精度成像和蚀刻功能,从而在半导体晶片上创建亚微米、高纵横比特征。土星提供了数字成像和热/真空处理技术的组合，以提供极其精确、可重复和可靠的光刻结果。它利用专有的数字图像采集机,在一次曝光中具有光学校正、全场和大面积成像功能。此外，它还提供了一套先进的集成分辨率增强技术（RET-E）工具，以实现关键的亚微米光刻能力。该工具包括一个高端真空处理站和热处理控制单元以及一个直观的多区控制面板。这允许对加工参数进行精确、可重复和准确的控制，从而产生非常高产量的产品，具有优越的均匀性和工艺效果。FSI土星还具有很大的活动区域和各种各样的样品处理选项，以适应多层处理。该资产旨在提供快速成像和处理周转时间,总周期时间仅为1-2分钟。此外，它还有一个监测、记录和分析数据的综合模型，从而大大节省了成本。该设备的设计成本低，易于操作，在紧凑的解决方桉中提供各种光刻选项。土星是一种经济高效、功能丰富的光刻系统，专为先进的光刻处理能力而设计。它使用其专有的数字图像采集单元和先进的分辨率增强技术提供高度准确和可靠的成像和蚀刻结果。FSI Saturn具有快速的处理时间和集成的数据分析机器,是高端制造和研究应用的理想解决方桉。