二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293827880 待售

FSI土星是一种用于先进半导体生产工艺的光敏设备。这是一个两步过程，由光刻和蚀刻组成，使制造商能够在半导体晶片上产生极其精细和复杂的图样。在第一步中，光致抗蚀剂层通过图样化的光掩模（一种设计用来创建所需图样的掩模）暴露于光。这一过程在光致抗蚀剂层中产生化学反应，其蚀刻电阻性质。蚀刻电阻光致抗蚀剂层充当后续蚀刻步骤的掩模，这涉及在光致蚀剂仍然存在的区域蚀刻半导体晶片。这通过从晶圆中去除多余的材料来创建所需的电路。土星光致抗蚀剂系统在需要在半导体晶片上产生小图桉和设计的情况下特别有益。其模式分辨率能力远高于其他光刻系统，这意味着它使制造商能够使用更小、更精细的电路创建设备。该单元涉及使用双光子吸收技术，允许光刻胶层在没有层压板材料或额外材料的情况下曝光，允许非常干净整洁的曝光过程。光刻胶也比其他系统具有更高的灵敏度，因此提供了优于替代系统的模式分辨率。FSI土星光刻机由于其更高的分辨率，承诺了更快的生产时间和成本效率等优势。此外，它的双光子吸收技术意味着制造商可以生产更小、更精细的图桉，让他们创造出功能和应用比以前更好的设备。