二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9036933 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn是一种光刻设备，设计用于为生产复杂的、高密度的半导体器件提供精确的光刻工艺。光刻胶系统由光源、投影光学单元和工艺室组成。光源提供紫外线，使光刻胶在晶圆表面暴露。投影光学机器将图样的图像投射到晶圆上，从而可以精确地放置结构。该工艺室为晶片的外露提供了一个加压、专业的光刻环境。FSI Saturn光致抗蚀剂工具能够在磁性随机存取存储器（MRAM）、静态随机存取存储器（SRAM）、数字信号处理（DSP）、芯片资产（SoC）、现场可编程栅极阵列（FPGA）和微处理器等设备上进行深紫外线（DUV）辐射。该模型可以将电路暴露在诸如硅、的、压电石英等类似材料的基材上。设备的默认开发应用是提供从0.14 um到0.6um的最小特征大小,同时在整个曝光空间范围内采用统一的分辨率。曝光方式包括自上而下的单片曝光、并排曝光和多次蒙版曝光。TEL Saturn光刻胶系统也能够使用晶圆上的对准标记来进行超精确的模式对准，允许精度低至0.037微米。TOKYO ELECTRON Saturn photoresist unit被设计为提供一个可靠和简单的平台，用于开发微型规模的器件。该机功耗低，可同时配备大规模和小规模的加工室。它利用长波长的紫外线光源确保精确的光刻曝光，并采用先进的光学技术进行清洁和均匀的工艺。该工具配有集成的电动晶片级，在对准射门时允许精确的可控性和准确性。此外，土星光刻资产设计有触摸屏交互式控制界面，可以方便操作和监测光刻过程。总体而言，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn光刻胶模型为用户提供了一个可靠、准确和精确的平台，用于开发微型规模的器件。各种曝光方式，机动化晶片级和长波长紫外线源的结合，使设备在整个曝光空间提供从0.14um到0.6um的特征大小，分辨率均匀。其强大的软件定制功能和触摸屏交互式控制界面使系统成为各种平版印刷工艺的简单有效的解决方桉。