二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9236451 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn是一款为多种应用而设计的光刻设备，包括光刻、计量、光学和电接触成像以及缺陷检测。它为各种应用程序提供了一系列功能,从高分辨率成像功能到高级自动化和计算机辅助分析功能。该系统是围绕一种新颖的光学布局构建的，具有可变间隙源/探测器单元，使机器能够检测不同大小和形状的信号。这种光学布局结合了高速成像工具和自动晶圆分析资产，使FSI土星成为一种用于高精度图像捕获和特征描述的强大工具。TEL Saturn模型是一种16位分辨率的数字成像和控制设备，可以在一系列不同的计算机平台上操作。它提供了一个宽视野（6.5x6.5mm）,用于成像大型物体和曲面,并提供低至0.8微米的分辨率。其可变间隙源/检测器系统允许在各种物理环境中实现最佳图像清晰度和准确性。该单元还能够在自动检查中识别多达16种模式，包括半导体金字塔和圆柱形结构。机器的核心是获得专利的先进图像捕获技术，这种技术能够提供非常精确的成像和信号分析能力。土星能够测量波前失真和图像对比度，方法是使用专门的线性编码器，从图像捕获硬件读取高分辨率数字信号，以及它的专利干涉仪技术来分析表面拓扑。这种特性的结合使得该工具能够检测到小到0.5微米宽的缺陷，并以惊人的精度测量200微米厚的单个结构。TOKYO ELECTRON Saturn的自动化资产旨在确保其所有组件协同工作以连续产生高质量的图像。该模型包括用于自校准、自动化过程控制和预测维护的智能算法，使其成为精确控制应用的理想解决方桉。此外，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn的定制软件包包含交互式和批量修改图像分析的工具。简而言之，FSI Saturn光阻设备具有捕捉和表征高精度图像的强大能力。其可变间隙源/检测器系统、快速成像单元、自动化晶圆分析机以及先进的自校准和预测维护能力，使其成为许多先进制造工艺的理想平台。TEL Saturn工具对表面拓扑结构的精确表征和对小缺陷的检测使其成为许多行业的宝贵资产，从半导体制造到印刷和微型化过程。