二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9237266 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn）是一种光致抗蚀剂设备，用于制造和工程集成电路。该系统专为化学机械平面化（CMP）工艺而设计，涉及底物的化学蚀刻和物理抛光。该单元用于提高半导体器件的性能、可靠性和产率。FSI土星机由三个主要部件组成：旋转涂层、显影轨道和自动晶圆计量工具（AWMS）。自旋涂层用于在晶片上涂抹光刻膜。开发轨道负责开发光致抗蚀剂。AWMS确定了旋转涂层的旋转速度和时间,以及开发轨道的温度和时间,以确保每个蚀刻和抛光过程的最佳性能。TEL Saturn资产能够执行各种CMP过程，包括物理抛光、化学蚀刻、蚀刻和抛光、烘烤和硬烘烤、旋转和洗涤。所有这些过程都使用模型的软件进行控制。通过优化速度、压力和温度等CMP工艺参数，设备有助于提高半导体器件的性能、可靠性和产量。该系统还具有多种后处理功能，如边缘钝化、批量抗蚀刻和侧壁图像传输。在安全性方面，土星满足了光敏装置的所有要求。它配备了多个安全传感器，可以检测任何可能的风险，并向操作员发出任何危险的警报。还包括紧急停车功能，以及指导手册和安全指南，帮助操作员了解机器并遵循安全程序。总之，TOKYO ELECTRON Saturn是设计和制造集成电路的先进工具。它具有优化的CMP参数以及后处理功能,以确保可靠和高质量的输出。该资产还提供了众多安全功能,使其成为工程和制造微芯片的安全有效的解决方桉。