二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON TITAN #293748010 待售

FSI TITAN光刻设备是生产先进光刻和光电器件的独特、高性能、耐沉积和开发系统。TITAN装置具有创新的真空溅射沉积工艺，提供均匀、高度均匀的抗蚀层，具有优异的填隙能力。FSI TITAN工艺还产生了高度均匀的光刻胶轮廓，允许优越的光响应。TITAN光刻机是各种先进光刻工艺和光电器件生产应用的理想选择，包括3D打印、先进X射线光刻、蒙版生产、半导体器件制造等。FSI TITAN工具由一台FSI VSL扫描仪、FSI高性能真空溅射沉淀室、精密步进器、晶圆处理元件、流量控制、以及最先进的抗蚀剂开发设备组成。FSI VSL Scanner使用了先进的视觉资产和精确的电机控制，以确保抗蚀涂层过程不仅均匀而且高度准确。FSI高性能真空沉积室能够提供均匀、优质的抗蚀层，具有优异的填隙能力。精密步进器用于在沉积和开发过程中精确移动晶片，确保每个步骤的质量控制。晶片处理组件可使晶片在加载站周围平稳移动,确保晶片在此过程中不会卡住或损坏。TITAN模型的最先进的抗涂层开发设备、流量控制和步进技术提供了准确、可重复的薄膜抗涂层和开发过程。该设备对薄膜抗蚀剂进行自动处理，可实现卓越的高速薄膜开发。FSI高性能真空沉积室具有预热性能，在抗沉积之前提供均匀且充分加热的基板表面。预热能力还保证了抗蚀层质量在整个过程中保持均匀。FSI TITAN光刻胶系统适用于低成本和高端生产环境。该设备的功能使其成为先进光刻和光电器件生产应用的理想选择，包括3D打印、先进X射线光刻、蒙版生产、半导体器件制造等等。