二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON TITAN #9364338 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON TITAN是为先进光刻应用而设计的光刻设备。它具有高分辨率、精确的光学系统,具有较长的聚焦深度,能够使用各种抗蚀剂。该单元由一台高分辨率减压光学机器、一个低压成像室、一个多模或单模曝光源以及一个自动控制工具组成。该资产用于先进的光刻工艺，如亚微米图像传输和电路切割。它还有助于减少暴露过程的成本和时间。此外,它还提供了更高的精度和可靠性,出色的可重复性,以及更高的检测精度.该模型可用于多种材料，包括聚合物、高k介电膜、III-V化合物和金属。它提供了一个优化的阻挡过程来实现阵列和轮廓控制。这意味着可以使用相同的参数来处理不同材料的曲面。设备还提供了应用基于同一系统平台的各种成像技术的灵活性。这些技术包括幅度调制、相移和组合光刻。此外,由于其高分辨率的光学器件,该单元提供了更好的缺陷检测精度.机器的组件包括源、探测器和光学器件。光学器件包括一个远心透镜、一个高功率电容器和一个消磁光学器件。该源包括一个脉冲激光，检测器由高斯滤波器和一个线性的检测器元素阵列组成。该成像工具旨在提供均匀的正向失真图像，可同时用于正向和负向抗蚀剂。总体而言，FSI TITAN是一种易于使用、可靠的光阻资产。它具有较长的聚焦深度和高分辨率光学器件，非常适合先进的光刻应用。它提供了更高的精度和可靠性，卓越的可重复性，并提高了检验精度。此外,它的多模式和单模式曝光源允许应用各种阻抗过程来实现阵列和轮廓控制。