二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Transfer Chamber #293665124 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Transfer Chamber是一种光刻设备，用于制造先进的微电子装置。该系统使用光刻技术在硅晶片基板上蚀刻图样，以创建复杂电子或微芯片设备的特征。这个单元由几个组件组成，包括一个光刻应用站、一个面罩对准器和一台烘焙机。光致抗蚀剂应用站使用自旋涂层将光敏材料光致抗蚀剂应用于晶片基板。这一过程涉及将晶片在卡盘上旋转，同时用液体光致抗蚀剂-溶剂溶液涂覆。一旦溶液被应用，晶圆就暴露在紫外线（UV）光下。紫外线激活晶片上由掩模或模具指定的光刻图样。下一个组件,即掩码对齐器,用于用掩码精确注册晶圆。这样可以确保蒙版上的图样与晶圆上的图样完全匹配。配准由激光干涉仪执行，该激光干涉仪测量晶圆与掩模之间的距离。最后的组成部分是烘烤工具。对准后，将晶片放在烤箱中加热。这种硬化过程将光刻胶交联成耐用、持久的形式，可以承受随后的蚀刻过程。硬化过程完成后,即可开始蚀刻过程。此蚀刻用于去除不需要的硅层并创建阵列以形成所需的设备组件。FSI Transfer Chamber是一种先进的光刻资产，用于创建复杂的微电子设备。它包括一个组件，如一个光刻应用站，一个面罩对准器和一个烘烤模型，每一个模型一起工作，蚀刻图样到基板上。这些工具共同为开发和生产先进电子设备提供了必要的精确度和准确性。