二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 200 #293640583 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 200是专门为先进的光刻图桉应用而设计的光刻设备。它简化了光刻图样的制作过程，其中使用光敏材料在基板上创建图样。该系统具有高达4 μ m的高精度和高分辨率。该单元的曝光波长覆盖范围从350 nm到450 nm，也可以在紫外线UV-FEL或HeNe激光辐射源下工作。它具有多种面罩尺寸和材料选择，如石英或熔融二氧化硅面罩。这台机器包括一个先进的预对准器和一个包括自动校正功能的高效、高分辨率的自动检测工具。此资产会自动检测基板和图样的位置,然后对基板进行精确对齐,以最大程度地减少由于掩码移位或焦点变化而产生的错误。FSI Zeta 200具有先进的成像和焦点控制功能,并具有内置的全模型聚焦调整（WSFA）功能,可实现快速、精确的平版印刷模式。光刻胶材料从盒式磁带加载到TEL Zeta 200中,使用状态由在线和离线控制设备跟踪。快速充电功能使用户能够优化暗室效率。对于高分辨率光刻，系统具有先进的SE（Sub-resolution Acceleration）功能和JPEG-2000的数据压缩功能。SE允许在低线宽、高吞吐量的基板上快速图样化，JPEG-2000数据压缩支持质量均匀的大图样数据。Zeta 200旨在通过高效的工作流提供高效、准确和高分辨率的阵列。该机具有强大的单元设计、先进的成像和聚焦控制以及用户友好的操作，非常适合光刻光刻应用。