二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 200 #293798027 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 200是一种尖端的光阻设备，设计用于在高度精确的光掩模内快速创建均匀的微电路结构。该系统具有高分辨率激光扫描功能，能够将复杂数据转换为物理电路结构，是多光刻应用的理想选择。它采用一种新型激光光学装置，能够产生具有重复精度和低失真的纳米级电路模式。其独特的开放式架构光学机器提供了前所未有的灵活性，允许在各种照明条件下使用，允许高生产吞吐量。FSI Zeta 200具有独特设计的冷却工具,可实现最佳打印性能,利用空气减少散热和柱发射,从而提高稳定性。其先进的数据管理系统支持多种用户设置,具有可恢复的地形图像输出,从而实现了有效的多设备制造。TEL Zeta 200生产的光掩模具有强大的EDVAS资产，提供了出色的图桉精度、稳健的对准和可靠的掩模制作过程控制。此外,此模型还配备了新一级的计算机辅助设计（CAD）、光掩码校正和后端打印评估。该设备允许对各种参数进行多次模拟，以准确确定精确的抗拒标准、最佳曝光时间等参数。Zeta 200是一种高度可靠和有效的光致抗蚀剂工艺的基础。其关键组件包括坚固的光学系统、强大的EDVAS和先进的冷却单元,以确保最高的精度和性能。通过独特的技术组合，这台机器能够在较短的周转时间内产生高度精确的微电路。它结合了重复精度、高吞吐量和可扩展性，是各种先进光刻应用的绝佳选择。
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