二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 200 #9031466 待售
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ID: 9031466
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
Spray cleaning system, 8"
Robot options are available
2002 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 200光刻设备是一种精密的光刻和薄膜沉积系统，用于半导体器件制造。它设计用于从石英晶片到纳米结构和其他复杂结构的各种基板上的高精度图样加工。其功能包括跨多个维度的图样化,具有精确的晶圆对准和卓越的光学性能。FSI Zeta 200单元的核心是具有高达3D功能的高分辨率扫描电子束（SEB）。SEB能够以高精度和精确度将复杂的图样物理转移到基板上。SEB的功能包括一个直观的图形用户界面（GUI），用于控制光束光斑大小、光束电流和曝光剂量。此外，SEB还提供了对化学成分和几何形状的精确和快速扫描，以创建复杂的模式。该机器还具有自动晶圆对准功能，能够将光束轮廓精确对准目标基板。TEL Zeta 200还利用了几种类型的光致抗蚀剂,用于制图过程的关键区域。它与正、负、双色调的光致抗蚀剂一起工作，可以将感光材料沉积在多种晶片材料上，如石英、硅、砷化氙等。它具有行之有效的设计分辨率为1.0 μ m或更小的平版印刷版的能力。TOKYO ELECTRON Zeta 200用途广泛,可方便地针对特定的应用进行定制。它为均匀薄膜提供了简单、快速的批量加工，同时还为关键工序提供了炉烤装载架和低湿度环境。此外，Zeta 200还配备了业界领先的离子束蚀刻工具，能够将分辨率提高到1.5 μ m。离子束蚀刻资产保证了更好的蚀刻质量和均匀性，以获得最大的产量。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 200型号还提供了极高的精确度和控制,改进了缺陷排除和增强的工艺重复性。其辐射阻尼组件提供最大限度的防止X射线照射，并提供安全、健康的工作环境。这种设备非常适合要求高精度和可靠性的应用。它已被用于制造MEMS器件、纳米设备、OLED显示器和其他半导体器件。
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