二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600179 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3是为电子器件制造而设计的高性能光刻设备。它汇集了先进的硬件和软件解决方桉,为现代半导体制造提供尽可能高的精度和吞吐量。该系统能够进行最精确的光刻成像，以及光刻材料的清洁、烘烤和加工。照明源为三波长LED阵列。LED可独立调节,可提供三种不同的磁场深度,从而实现出色的聚焦和最大分辨率。自动基板表允许以最高精度传递光刻胶材料,而无需手动设置焦点位置。这就产生了最佳的过程准确性和可重复性。光刻胶加工室配备了一系列加热的板材，允许"加热"和"热"烘烤操作，以及预蚀刻加工。该腔室还具有真空装置，可以最佳地控制水分水平和其他特性，如热扩散。腔室由专门的循环冷却机进一步支撑，确保最高精度和热调节水平。高精度步进电机和级对准工具，连同自动晶圆传输，最大限度地减少了"通过硅通"（TSV）缺陷形成的总风险。这样可以在用户干预最少的情况下确保高效制造。此外,该资产的综合软件套件还提供了全面的适应性和可配置性。该模型支持广泛的光刻胶系统，其设置可以针对每个特定配方进行优化。这也可以方便地设置低影响过程的复杂配方,如自对齐双模式。综上所述，FSI Zeta 300 G3光刻设备是为生产高精度半导体而设计的高度先进的系统。其先进的照明、供暖和制冷能力，加上其全面的软件套件，使其能够取得一致和可重复的生产成果。
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