二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600193 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3光刻设备是一种先进的光刻工具，用于制造半导体器件和其他电子产品。该系统由工作台、光掩模标线台、光刻头、光刻喷雾器和控制器组成。工作表为其他元件提供了一个稳定的平台，用于间隔组件、晶圆放置和卸载操作。光刻头是一个双轴四轴电动级，能够提供高精度和可重复性在广泛的加速度和行进速度。光掩模标线级是一个精密的XY扫描级，利用高分辨率、高精度的传感器提供准确的定位反馈。光敏喷雾器用于晶片表面的均匀涂层。控制器提供设备的操作，进行计算以维持必要的相机曝光设置，控制光刻头和标线台的运动，并与外部驱动力接口。FSI Zeta 300 G3光刻机为晶片的高分辨率和高通量生产而设计。它能够加工直径达150毫米的基板，最小特征尺寸为2.5 µm。该工具采用先进的技术，如先进的距离测量（ADM）、闭环光刻胶过期控制和低漂移远程操作特性。它还包括一个获得专利的自动化光学维护资产，这确保了光学的安全和功能。TEL Zeta 300 G3 Photoresist模型提供了多系统的高性能、精确度和集成，导致制造过程中的产量增加，周期时间缩短。它还与广泛的化学物质、光掩模和电子束仪器兼容。
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