二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600195 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3光抗蚀剂设备是一种用于对用于制造计算机芯片的半导体IC（集成电路）进行制图的抗蚀剂条带装置。该设备设计为剥离具有最小特征失真量的高分辨率特征。这是通过向半导体基板上使用的光致抗蚀剂呈现均匀一致的抗蚀剂轮廓来实现的。该系统由一个包含一系列抵抗带的抵抗带室组成。不均匀的抗蚀条是通过依次移动抗蚀条并将其暴露于光束形成单元中的光束中而创建的,在光束形成单元中,以均匀间隔的方式修改抗蚀条轮廓。抗蚀带室还包含一个加热板，确保温度分布均匀。抗蚀带室由不锈钢製成，内含加热板。为保护抗蚀条轮廓不受变形，加热板设计为均匀、轻轻加热抗蚀条表面。此外,先进的温度控制技术保持了耐火条的均匀温度分布.FSI Zeta 300 G3光刻装置配备了光成形装置和光探测装置。光成形单元是TEL Zeta 300 G3光抗蚀机的核心，用于创建抗蚀剂条形。光形成单元产生的激光光束分布在抗蚀条的宽度上，而光检测单元测量抗蚀条轮廓的变化。通过精确控制抗蚀条的宽度,可以确保精确创建抗蚀条轮廓。最后,TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3光刻工具配备了资产控制面板,可精确控制工作温度和耐火条宽度。此外,该面板还可用于监视模型的状态。Zeta 300 G3光阻设备是精密IC（集成电路）制造的理想工具,也是实现半导体IC优异的抗蚀性条形的完美解决方桉。该系统不仅确保了抗蚀条精确且间距均匀，而且利用先进技术保护了抗蚀条轮廓不受变形。此外，由于其易于使用的单元控制面板，可以实现对抗蚀剂条轮廓的精确控制。所有这些特性使得FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3光抗蚀机成为实现高分辨率抗蚀剂条形的完美解决方桉。
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