二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #9397351 待售
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ID: 9397351
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Spray cleaning system, 12"
(2) Chemical canister consoles
Titanium turntable style
Type: Robot
BROOKS AUTOMATION 2406-V2 Robot
STAUBLI TX90XLSCRfsi2 Robot
Does not include Hard Drive Disk (HDD)
Process modules:
Fluid Delivery Module (FDM)
Process Module (PM)
Material Handling Module (MHM)
Multi Position (MP)
Material Handling System (MHS)
Canister console
Power distribution cabinet
Canisters:
(3) H2O2
H2SO4
NH4OH
HCL
DHF
Missing parts:
Robot
PC
2006 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3光抗蚀剂设备是一种最先进的自动化生产工具，旨在方便半导体器件的制造。FSI Zeta 300 G3具有具有多种对齐选项的高分辨率10微米步进器和用于高级光刻的多层薄膜系统。光敏装置能够快速、精确地产生复杂的图样。TEL Zeta 300 G3配备了高度精确的镜头组件，兼作显微镜和输出平台。这可以让使用者轻鬆检视及操纵处理过的光刻胶。该机还包括一个自动卡带到卡带传输工具，允许用户快速、精确地加载和卸载电路。Zeta 300 G3提供卓越的分辨率来产生以纳米为单位测量的亚微米特征。该资产采用多波长和偏振设置，以确保精确定位和复制抗蚀剂掩模图样。室内用高度的氧气控制进行净化，清洁高效的抗菌处理。TOKYO ELECTRON ZETA 300 G3的先进多层薄膜模型，使得层的光刻胶能够均匀且精确的沉积。内部快门由电子控制，在光刻过程中允许高通量和精确度。阵列模板可以通过选择CAD软件轻松导入到设备中,也可以在内部生成。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3是光刻加工的真正动力。其先进的成像和对准系统提供了无与伦比的精度，而其导膜系统则确保了抗蚀层的均匀沉积。该单元可以最精确地快速处理复杂的模式，从而能够高效生产半导体器件。
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