二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #293639153 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300是专为高精度光刻工作而设计的光刻设备。该系统由多个组件组成，包括主控制单元、光源、显微镜、腔室、晶片级和晶片载流子。主控制器包含一台用于监视设备的计算机,以及用于调整机器参数的可编程控件。光源是一种UV光，设计用来将光刻胶暴露在正确的波长下，以便创建图样。该显微镜用于将光精确聚焦到光刻胶上，并且可以调整以获得最佳的图像分辨率。腔室是一个大容器，用来容纳组件并保持清洁、无尘的环境。利用晶片级在加工过程中移动工件，利用晶片载流子确保光刻胶在腔内处于最佳位置。除了组件外，FSI Zeta 300还有几个功能可以提高性能。这些特点包括高密度投影工具、纳米电子显微镜支持以及对资产的实时监控。TEL Zeta 300提供高精度光刻，最小线宽0.2 µm，高分辨率100纳米。它能够保持小于0.02 µm的对准精度，以及0.6 µm的聚焦深度，允许重复可靠的结果。此外，它还能够快速移动工件，实现高达25mm/秒的扫描速度。TOKYO ELECTRON Zeta 300被设计为在光刻工艺中与其他工具结合使用，包括基底盒、清洁模组和抵抗处理单元。所有这些组件都通过单个用户界面进行集成,以确保高效而可靠的操作。此外，该模型还能够处理各种光敏材料，包括液体和干式材料。总体而言，Zeta 300是一种先进的光刻设备，非常适合各种光刻应用。它具有一系列功能和组件,使其易于使用,同时提供高精度和可靠的结果。