二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9149325 待售

FSI/TOYKO ELECTRON FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300是一种光抗蚀剂系统，专门研究光学元件的抗反射（AR）涂层。FSI Zeta 300专为帮助优化AR层的特性和降低其下方涂层的可见性而设计。TEL Zeta 300采用了一种称为PR（曝光后抗蚀剂）的两部分光敏涂层工艺，它涉及一种特殊的起泡工艺以及抗烘烤。在引发过程中，一种特殊形式的化学气相沉积（CVD）被用来制造一层薄薄的碳质物质，作为对过程化学物质的蒸气分子的屏障。这有助于确保所选涂层的最佳均匀性。防腐烘烤工艺遵循底漆，用于控制PR层的厚度和粘附特性。这一过程利用波长为10.6微米的红外激光器，使抗蚀剂材料发热，在光学表面上形成"蚀刻面罩"。此步骤有助于防止由于PR层粘附不良而在涂层过程中产生任何不良影响。TOKYO ELECTRON Zeta 300还融合了独特的R&D（反射和扩散）特性，评估了PR层的光学性能。此功能允许用户调整所选涂层的吸收水平，确保最佳水平的光反射和扩散能力。最后，Zeta 300还配备了自动立体光刻系统，能够对光学材料进行精确的3D成像。这种类型的成像有助于识别和纠正任何可能改变AR涂层性能的表面缺陷。这些特性结合FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300光刻胶系统的先进精度，使其成为AR层精度和性能至关重要的应用的理想选择。