二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9158152 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300是一款能在单一集成平台上蚀刻、开发和打印基板的高性能光刻设备。该系统具有先进的蚀刻速率和准确性以及与当今最先进的光刻材料的卓越兼容性。FSI Zeta 300集FSI和TEL高效UV源于一身，具有高速制图和成像能力。该装置可处理尺寸达200毫米的基板，并提供快速取样、高通量的高密度图样。TEL Zeta 300提供各种蚀刻选项,具有可调节的辐照度、均匀性和先进的装饰蚀刻功能。集成的UV源可以提供快速、高质量的蚀刻速率以及高效的阵列。该机还配备了强大的自动化能力，包括可编程曝光参数、图桉面罩和自动基板处理。该工具还具有先进的超精细控制功能,允许精确调整蚀刻速率、过度清洁和残留抗蚀性比。这是通过直接控制曝光参数、可调照明均匀性以及真正的高精度、低失真图样和成像等多种功能的组合来实现的。TOKYO ELECTRON Zeta 300与半导体、MEMS和高频器件中使用的光敏材料具有极好的兼容性。该资产还通过其自动化的过程控制功能确保了高度的可靠性。该模型是为可靠性而设计，并提供热/冷清洁循环，自动基板表面表征和基板保护功能。Zeta 300还具有节能功能,可降低工艺成本,同时满足日益严格的环境法规要求。设备不仅节约资源，而且减少工人接触有害材料的机会。该系统还提供高级数据核算和记录保存，用于监测过程。最后,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300是一款最先进的光刻装置,具有出色的蚀刻精度、快速的取样、高通量的高密度图样和先进的超精细控制。该机非常适合半导体、MEMS和高频器件。该工具还可确保节能、工人安全、流程成本降低和流程监控功能。